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首頁-技術文章-臺式掃描電鏡的樣品準備與分析方法

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臺式掃描電鏡的樣品準備與分析方法

更新時間:2024-12-09      點擊次數:103
   臺式掃描電鏡作為一種材料表征工具,其樣品準備與分析方法對于獲得高質量結果至關重要。
  一、樣品準備
  取樣與干燥:先根據研究需求選擇合適的樣品,并確保樣品具有代表性。對于不導電樣品,需特別注意干燥過程,以避免水分殘留影響成像質量。
 
  清洗與除塵:樣品表面應盡可能干凈,無油污、灰塵等雜質。可使用超聲波清洗或適當溶劑去除污染物。
 
  固定與導電處理:樣品需固定在導電臺面上或使用導電膠帶粘貼。對于不導電樣品,需進行導電處理,以提高成像質量。
 
  拋光與腐蝕處理:為獲得平整且反映內部結構的表面,可對樣品進行拋光和腐蝕處理。
 臺式掃描電鏡
  二、分析方法
  掃描電鏡成像:通過調整加速電壓、電子束電流和工作距離等參數,獲得清晰的圖像。可選擇二次電子成像(SE)或背散射電子成像(BSE)模式,根據需求觀察樣品表面形態或成分信息。
 
  能譜分析(EDS):EDS作為SEM的強大補充,可對樣品元素成分進行定量和定性分析。通過檢測樣品表面發射的X射線,獲取準確的元素信息。
 
  宏觀到微觀觀察:先從較低放大倍率開始,確定觀察區域,然后逐步增加放大倍數,細致觀察樣品特征。
 
  記錄與分析:注意記錄樣品的宏觀形貌和微觀特征,結合EDS結果分析樣品成分與結構關系。考慮材料的加工歷史、熱處理狀態等因素,全面理解樣品特性。
 
  臺式掃描電鏡的樣品準備與分析方法對于獲得高質量結果至關重要。通過合理的樣品準備和精確的分析方法,研究者可以充分利用它的優勢,為材料科學研究提供有力支持。
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